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 设备维修、改造

  

    1.镀膜机机械系统故障检修;

 

诸如:基板回转机构故障、坩埚转动机构异常、Monitor回转机构异响等问题的排查、修理;水冷管、水冷夹套漏水的补焊修理;

 

    2.真空系统的维修;

 

真空系统漏气故障检漏、漏点排查;腔体、管道等补焊;冷凝器冷媒泄露等;

 

    3.镀膜机电气系统修理;

 

PLC软件修改;加热丝短路、断线处理;PC、PLC通信故障;程序恢复、升级等;

 

    4.镀膜机改造;

 

根据客户的要求设计、改造设备,如:坩埚机构改造、阻抗加热机构追加、基板机构的改造等;

 

 

 

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