1.镀膜机机械系统故障检修;
诸如:基板回转机构故障、坩埚转动机构异常、Monitor回转机构异响等问题的排查、修理;水冷管、水冷夹套漏水的补焊修理;
2.真空系统的维修;
真空系统漏气故障检漏、漏点排查;腔体、管道等补焊;冷凝器冷媒泄露等;
3.镀膜机电气系统修理;
PLC软件修改;加热丝短路、断线处理;PC、PLC通信故障;程序恢复、升级等;
4.镀膜机改造;
根据客户的要求设计、改造设备,如:坩埚机构改造、阻抗加热机构追加、基板机构的改造等;