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  MSC系列

 

产品名称 OEM磁控溅射离子镀膜机
简介    MSC系列磁控溅射离子镀膜机能够沉积各种纯金属和合金镀层、高硬度耐磨金属氮化物镀层、高硬度低摩擦系数的类石墨镀层、金属碳化物镀层、金属碳氮化物镀层、多元复合镀层、装饰性镀层等,该设备可实现薄膜的高速沉积、高纯薄膜制备、提高反应溅射沉积薄膜的质量。
型号 MSC360 MSC560 MSC760
真空室尺寸(mm) Φ455*570 Φ655*650 Φ712*1000
炉门开启方式 顶开或侧开 侧开 侧开
工件架转速 0-8RPM可调
真空系统 Edwards机械泵+扩散泵 Edwards机械泵+罗兹泵+扩散泵
极限真空 5*10-3Pa 3*10-4Pa 3*10-4Pa
镀膜系统 AE DC Power + AE plus Power
气氛控制 MKS质量流量计及质量流量控制器
磁控靶数量 4
控制系统 HMI+PLC
主要应用 耐磨、耐蚀、装饰、光学等各种功能薄膜

 

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