MSC系列
| 产品名称 | OEM磁控溅射离子镀膜机 | ||
| 简介 | MSC系列磁控溅射离子镀膜机能够沉积各种纯金属和合金镀层、高硬度耐磨金属氮化物镀层、高硬度低摩擦系数的类石墨镀层、金属碳化物镀层、金属碳氮化物镀层、多元复合镀层、装饰性镀层等,该设备可实现薄膜的高速沉积、高纯薄膜制备、提高反应溅射沉积薄膜的质量。 | ||
| 型号 | MSC360 | MSC560 | MSC760 |
| 真空室尺寸(mm) | Φ455*570 | Φ655*650 | Φ712*1000 |
| 炉门开启方式 | 顶开或侧开 | 侧开 | 侧开 |
| 工件架转速 | 0-8RPM可调 | ||
| 真空系统 | Edwards机械泵+扩散泵 | Edwards机械泵+罗兹泵+扩散泵 | |
| 极限真空 | 5*10-3Pa | 3*10-4Pa | 3*10-4Pa |
| 镀膜系统 | AE DC Power + AE plus Power | ||
| 气氛控制 | MKS质量流量计及质量流量控制器 | ||
| 磁控靶数量 | 4 | ||
| 控制系统 | HMI+PLC | ||
| 主要应用 | 耐磨、耐蚀、装饰、光学等各种功能薄膜 | ||
蓝宝石单晶炉
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