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整机CAU系列

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产品介绍

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- 大部件
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  - 管道
  - 架台
  - 过渡法兰
- 小部件
  - 坩埚
  - RH(水冷)
  - 齿轮
  - 坩埚法兰
  - 挡板
  - 水冷轴
- 组件
  - 水晶
  - 阀门
  - 扩散泵
  - 冷阱
  - 分水器
  - 气缸
  - Shutter
  - 加热器
  - 控制器
  - 基板回转机构
  - 補正板机构
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- 机械类
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  - 电子枪头
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  - 陶瓷部件
  - 接头
- 消耗品
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  - 扩散油
- 维护品
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