JASOC 1350

光学薄膜镀膜机

主要特性

01 高真空排气性系统由双低温冷凝泵或3台分子泵+PLOYCOLD组成 ,实现排气无油化、高效化、节能化。

02 霍尔离子源或射频离子源进行离子辅助镀膜,极大改善薄膜的特性和质量。

03 高稳定、高可靠性的电子枪用于蒸镀工艺。

04 阻蒸(多点可选)。

05 石英水晶片控制器用于控制蒸镀速率,大大提高监控精度和可靠性,减少误判。

06 薄膜厚度监控和蒸镀工艺完全由计算机自动控制。

规格

型号 JASOC 1350
真空腔体 SUS304, Ø1350mm x 1450mm(H)
工件盘尺寸 Ø1200mm
工件盘旋转速度 10rpm ~ 50rpm (可调)
光学膜厚监控 反射式波长范围 350nm ~ 1100nm
透射式直接监控波长范围 400nm ~ 1700nm
水晶膜厚计 XTC/3 + 六点旋转式水晶探头
蒸发源 电子枪2式 ; 抵抗加热阻蒸 (多点可选)
离子源 霍尔离子源或射频离子源
排气系统 机械泵 + 罗茨泵 + 双冷泵,或机械泵 + 罗茨泵 + 3台分子泵+PLOYCOLD

性能

项目 内容
极限真空 ≦7.0 × 10⁻⁵Pa
恢复真空 ≦20min
最大烘烤温度 ≦350℃

安装要求

项目 内容
设备尺寸 6000(W) x 6500mm(D) x 2600mm(H)
所需电力 ≈70KVA
所需冷却水流量 ≧120L / min
所需空气压力 ≧0.5MPa
总重量 ≈7000Kg