JASOC 900

光学薄膜镀膜机

主要特性

01真空系统采用了低温机械泵+冷凝泵组成全自动排气系统,达到了排气高效化和节能环保。

02 高稳定、高可靠性的270度偏转电子枪用于蒸镀工艺。

03 六点旋转电阻蒸发源 适用于中远红外材料蒸镀。

04 使用可见或红外光学膜厚监控系统对蒸镀工艺进行监控。

05 六点水晶膜厚监控器用于控制蒸镀速率,显著提高监控精度和可靠性,减少误判。

06 薄膜厚度监控和蒸镀工艺完全由计算机自动控制。

规格

型号 JASOC 900
真空腔体 SUS304, Ø900mm x 1200mm(H)
工件盘尺寸 Ø790
工件盘旋转速度 10rpm ~ 50rpm (可调)
光学膜厚监控 波长范围 : 800nm ~ 2400nm 反射式
水晶膜厚计 XTC/3 + 六点旋转式水晶探头
蒸发源 电子枪1式 ; 六点旋转式阻蒸
离子源 霍尔离子源
排气系统 机械泵 + 低温泵

性能

项目 内容
极限真空 ≦7.0 x 10⁻⁵Pa
恢复真空 ≦20min
最大烘烤温度 ≦350℃

安装要求

项目 内容
设备尺寸 5700(W) x 5800mm(D) x 2500mm(H)
所需电力 ≈75KVA
所需冷却水流量 ≧80L / min
所需空气压力 ≧0.5MPa
总重量 ≈5000Kg